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焦斌斌

作者:ebet官网 来源:ebet官网    更新时间:2020-02-24 10:02:05    浏览:2444
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    焦斌斌,博士,研究员,中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心,ebet应用物理研究所挂职副所长。主要从事MEMS微纳传感器原理、设计以及工艺方面的研究,作为课题负责人承担国家“863”项目子课题2项,自然基金仪器重大项目子课题1项,01专项横向课题2项。累计发表SCI论文30余篇,获授权国家发明专利35项,美国发明专利2项。与企业合作开发的消费类MEMS三轴加速度计产品累计销量超过1.5亿颗,产值超过2亿元。国家科技专家库专家,国家重大专项“核高基”MEMS方向课题验收专家。


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